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本发明公开一种磁浮重力补偿器，包括定子和动子，该动子通过磁力悬浮于该定子之上，该定子包括第一磁环、线圈环及第四磁环，该动子包括第二磁环及第三磁环，所述第一磁环、第二磁环、线圈环、第三磁环、第四磁环依次由内向外同心设置。本发明还公开一种使用该...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

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