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本发明提供了抗蚀剂膜形成用装置和方法以及模具原版制造用方法。所述装置包括：涂布部，其被设置成在让基板旋转的同时使抗蚀剂滴落、旋转并铺开；加热部，其被设置用于加热样品，所述样品中在所述基板上涂布有所述抗蚀剂；计量部，其被设置用于测量正在被加热...
该专利属于索尼公司所有，仅供学习研究参考，未经过索尼公司授权不得商用。

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