下载一种在自动扫描过程中自动补偿对焦的系统及方法与应用的技术资料

文档序号:8562275

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本发明涉及一种在自动扫描过程中自动补偿对焦的系统,以及实现方法,并将其运用在显微镜上,用于对由于机械运动、机械加工和安装、热胀冷缩等因素产生的微小误差,进行补偿修正,从而保证显微镜在扫描过程中,每个视野都能够获得清晰的图像。所述的自动补偿对...
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