【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种补偿对焦系统，更具体地说，涉及一种在自动扫描过程中自动补偿对焦的系统，以及实现方法，并将其运用在显微镜上，用于对由于机械运动、机械加工和安装、热胀冷缩等因素产生的微小误差，进行补偿修正，从而保证显微镜在扫描过程中，每个视野都能够获得清晰的图像。
技术介绍
全自动显微镜扫描系统是近年来出现的高精度扫描仪器，被广泛地应用在医学研究、临床应用、生物研究及工业应用等领域。传统的显微镜扫描系统如图1所示，调焦时物镜102保持静止，载物台101带动被测物体做上下运动。也有采用传感器检测显微镜Z轴位置的，传感器固定在显微镜机架上，其探头与接触，当载物台上下运动调焦时，跟随载物台同步上下运动，并带动传感器探头运动，使得传感器能够获得载物台上下运动的位移量，结合软件聚焦模型，完成对焦补偿过程。显微镜物镜景深一般小于2um，细微的变化都会导致图像模糊，现有技术主要存在三方面缺陷，容易产生上述问题。其一，载物台除了 X、Y方向运动，还有Z方向运动，当X、Y运动时，载物台的重心会发生变化，而载物台在Z方向上又不是固定不动的，重心的变化会导致载物台向某一个方向倾斜，由此...
【技术保护点】
一种在自动扫描过程中自动补偿对焦的系统，包括目标平台、成像装置，所述的目标平台在所在平面运动，所述的成像装置在垂直于目标平台的方向上运动，其特征在于，还包括对焦补偿系统，所述的对焦补偿系统包括至少两个位移测量装置，第一位移测量装置安装于目标平台，用于检测目标平台运动过程中存在的垂直方向的误差位移；第二位移测量装置安装在成像装置上，用于检测成像装置的镜头与目标平台的相对距离。
【技术特征摘要】
1.一种在自动扫描过程中自动补偿对焦的系统，包括目标平台、成像装置，所述的目标平台在所在平面运动，所述的成像装置在垂直于目标平台的方向上运动，其特征在于，还包括对焦补偿系统，所述的对焦补偿系统包括至少两个位移测量装置，第一位移测量装置安装于目标平台，用于检测目标平台运动过程中存在的垂直方向的误差位移；第二位移测量装置安装在成像装置上，用于检测成像装置的镜头与目标平台的相对距离。2.根据权利要求1所述的在自动扫描过程中自动补偿对焦的系统，其特征在于，所述的位移测量装置包括位移传感器、探头，第一位移测量装置的第一探头与目标平台表面接触，用于测量目标平台在运动过程中产生的垂直方向的起伏位移；第二位移测量装置的第二探头与成像装置的调焦机构接触，用于测量成像装置的镜头与目标平台的相对距离。3.根据权利要求2所述的在自动扫描过程中自动补偿对焦的系统，其特征在于，第一探头与目标平台表面间设置有调整片，所述的调整片表面平整，调整片固定在目标平台的表面，第一探头与调整片接触。4.一种在自动扫描过程中自动补偿对焦方法，其特征在于，步骤如下1)测量目标平台运动过程中产生的垂直方向的误差位移，以及成像装置的调焦机构的位移；2)通过调焦机构当前坐标计算得到焦面位置，通过误差位移计算目标平台与焦面位置的偏差；3)根据所得的偏差，相应调整调焦机构进行补偿修正，使补偿修正后的调焦机构与目标平台的距离等于步骤2)计算所得焦面位置与未进行补偿修正前的调焦机构的距离，保证成像装置始终处于焦面位置并获得清晰的图像。5.一种基于在自动扫描过程中自动补偿对焦的系统的显微镜，包括显微镜系统、数码摄像头；所述的该显微镜系统，包括机架、物镜、载物台、调焦机构、成像光学系统、光源照明系统；所述载物台固定在机架上，载物台在所...
【专利技术属性】
技术研发人员：康军，高志刚，
申请(专利权)人：麦克奥迪实业集团有限公司，
类型：发明
国别省市：
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