温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种直梁屈曲静电式微机械光开关，主要解决现有光开关驱动电压高、开关时间长、能耗高等问题。本发明包括：中间位置为菱形结构的微梁(307)、固定基座(304)、外构架(310)、驱动电极对(305，306)、调节电极对(302，30...
该专利属于西安电子科技大学所有，仅供学习研究参考，未经过西安电子科技大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。