直梁屈曲静电式微机械光开关制造技术

本发明专利技术公开了一种直梁屈曲静电式微机械光开关，主要解决现有光开关驱动电压高、开关时间长、能耗高等问题。本发明专利技术包括：中间位置为菱形结构的微梁(307)、固定基座(304)、外构架(310)、驱动电极对(305，306)、调节电极对(302，303)、微反射镜(314)和光纤(313)，其中：微梁(307)与固定基座(304)连为一体且在两者连接处采用跨度支撑结构(309)；固定基座(304)与外构架(310)通过楔形挤压结构(301)固定且两端设有导向机构（308）；调节电极对(302，303)采用梳齿状结构，且上下对称；外构架(310)的中间位置设有导向槽（312）；光纤(313)呈交叉垂直放置，微反射镜(314)固定在微镜支架(311)的前端。本发明专利技术具有驱动电压低、开关时间短、能耗低、开关阵列可扩展的优点，可用于光通信网络设备的关键光器件。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于光电子器件
，特别涉及一种静电式微机械光开关，可用于实现光通信中的光路选择、多条光纤线路的交叉互连、上下光路及对故障光纤线路进行旁路。
技术介绍
直梁屈曲静电式微机械光开关，是由MEMS技术加工而成。基于微梁纵横弯曲理论，突破微机械光开关单向加载的传统观念，利用微梁在屈曲变形中的弹性能量释放和刚度变化而表现出的突跳特性，将弹性力转变为驱动力，实现微机械光开关驱动电压低、开关时间短、能耗小的目的。它具有结构简单、体积小、重量轻、易集成、抗干扰能力强、能耗低、无偏振、开关阵列可扩展等特点，因此在光通信网络设备等领域中，具有强烈需求。2003年信息产业部电子第十三研究所在[静电式微机械全光开关，徐永青，杨拥军，赵彦军，梁春广，信息产业部电子第十三研究所，中华人民共和国国家知识产权局，ZL专利号02268460. 3，2003年6 月，G02B6/35，H04J 14/02-H04 B 10/12]中提出了一种静电式微机械全光开关，如图1所示，其中图1(a)为该微机械光开关的结构示意图，图1(b)为该微机械光开关A-A方向剖视结构示意图。定齿103各齿一端与定齿驱动电极本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种直梁屈曲静电式微机械光开关，包括：微梁(307)、固定基座(304)、外构架(310)、楔形挤压结构（301）、静齿驱动电极和动齿驱动电极构成的驱动电极对(305,306)、静齿调节电极和动齿调节电极构成的调节电极对(302,303)、微反射镜(314)和光纤(313)，其特征在于：固定基座(304)与微梁(307)连为一体，且在两者连接位置处采用跨度支撑结构(309)，用于提高微梁(307)所受到的轴向载荷；固定基座(304)与外构架(310)通过楔形挤压结构(301)固定，用于提高微梁(307)所受到的轴向载荷；固定基座(304)与外构架(310)的两端设有导向机构(308)，用于限制...

【技术特征摘要】
1.一种直梁屈曲静电式微机械光开关，包括微梁(307)、固定基座(304)、外构架(310)、楔形挤压结构(301)、静齿驱动电极和动齿驱动电极构成的驱动电极对(305，306)、静齿调节电极和动齿调节电极构成的调节电极对(302，303)、微反射镜(314)和光纤(313)，其特征在于 固定基座(304)与微梁(307)连为一体，且在两者连接位置处采用跨度支撑结构(309)，用于提高微梁(307)所受到的轴向载荷； 固定基座(304)与外构架(310)通过楔形挤压结构(301)固定，用于提高微梁(307)所受到的轴向载荷； 固定基座(304)与外构架(310)的两端设有导向机构(308)，用于限制微梁(307)的左右摆动； 调节电极对(302,303)采用梳齿状结构，固定在微梁(307)上，且上下对称； 外构架(310)的中间位置设有导向槽(312)，用于限制微镜支架(311)的上下移动。2.根据权利要求1所述的直梁屈曲静电式微机械光开关，其特征在于微梁(307)的中间位置采用菱形结构，用于增大横向静电载荷的受カ面...

【专利技术属性】
技术研发人员：田文超，山磊，
申请(专利权)人：西安电子科技大学，
类型：发明
国别省市：