下载一种传感器的技术资料

文档序号:8561651

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本发明公开了一种压力传感器,传感器结构包括:数模转换器、压电执行器、膜片、衬底。压力测量的步骤如下:数模转换器为压电执行器施加阶梯式增加的电压;压电执行器驱动压力传感器的膜片弯曲;数模转换器为压电执行器施加阶梯式减小的电压;测量膜片上的压力...
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