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本发明公开了一种同步移相横向剪切干涉仪及检测方法，属于精密测量的技术领域。所述同步移相横向剪切干涉仪包括置于壳体内的光学元器件。包括两个在主光轴上依次同心设置且垂直于栅线的衍射光栅，平行于光栅设置的空间滤波器，与空间滤波器呈四十五度夹角设置...
该专利属于南京信息工程大学所有，仅供学习研究参考，未经过南京信息工程大学授权不得商用。

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