【技术实现步骤摘要】
本专利技术公开了，属于精密测量的
技术介绍
现有的波前测试技术主要有四类由光束波前的斜率来反演波前，如哈特曼、夏克-哈特曼波前传感器，其中哈特曼法每检测一个系统就要制造匹配的哈特曼光阑，成本很高，而夏克-哈特曼法空间分辨率不高，不能精确反应细节部分；由光束波前的曲率来反演波前，如曲率波前传感器，重构精度较低；由光束的聚焦光斑来反演波前，如线性相位波前传感器，只适用于待测波前畸变较小时；由光束产生的干涉条纹来反演波前，如斐索干涉法、泰曼-格林干涉法、剪切干涉仪等，测试精度高，但需引入参考平面波，对环境稳定性或测试装置的防震性能要求较高；横向剪切干涉仪测试精度高且用被检波面本身错位后形成的两个波面发生干涉，不需另外引入参考波，简化系统结构且光路对机械震动、温度扰动及空气流动都不敏感，系统稳定。在现有的移相横向剪切干涉仪中，常采用PZT改变干涉光间的光程差来实现相移，PZT需按照一定时间顺序进行机械运动来保证，各移相干涉图是探测器在同一空间位置不同时刻探测到的，而移相原理要求在移相过程中图像背景、对比度以及被测相位都稳定不变，因此测量结果必然受到外界环境的影...
【技术保护点】
一种同步移相横向剪切干涉仪，包括置于壳体内的光学元器件、高速图像采集卡和计算机，所述光学元器件包括两个在主光轴上依次同心设置且垂直于栅线的衍射光栅，平行于光栅设置的空间滤波器，与空间滤波器呈四十五度夹角设置的分束镜；其特征在于所述光学元器件还包括：两个剪切板组，两个CCD图像传感器；所述两个剪切板组镜像分布在分束镜两侧，两个CCD图像传感器与剪切板组反射光方向垂直。
【技术特征摘要】
1.一种同步移相横向剪切干涉仪，包括置于壳体内的光学元器件、高速图像采集卡和计算机，所述光学元器件包括两个在主光轴上依次同心设置且垂直于栅线的衍射光栅，平行于光栅设置的空间滤波器，与空间滤波器呈四十五度夹角设置的分束镜； 其特征在于所述光学元器件还包括两个剪切板组，两个CCD图像传感器；所述两个剪切板组镜像分布在分束镜两侧，两个CCD图像传感器与剪切板组反射光方向垂直。2.根据权利要求1所述的ー种同步移相横向剪切干涉仪，其特征在于所述剪切板组包括两个平行设置的剪切板。3.根据权利要求1或2所述的ー种同步移相横向剪切干涉仪，其特征在于所述衍射光栅为振幅型Ronchi光栅。4.一种如权利要求3所述的同步移相横向剪切干涉仪的检测方法，其特征在于包括如下步骤 步骤I，调整...
【专利技术属性】
技术研发人员：武旭华，赵静，曹鸿霞，张仙玲，李博，
申请(专利权)人：南京信息工程大学，
类型：发明
国别省市：
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