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圆形激光钻孔方法技术
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文档序号:856136
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用联合冲钻和凿钻技术和使用不同类型的激光可在层压基片中形成具有基本上直的壁和底部无切除不足区域的通路。首先,沿待钻通路的边界切穿层压基片的顶部铜箔,以形成一个周边沟道。这是用UV激光的凿钻技术完成的。然后,用IR激光烧蚀通路内的介电材料。在...
该专利属于叶克赛伦自动化公司所有,仅供学习研究参考,未经过叶克赛伦自动化公司授权不得商用。
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