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包括增加的热耗散能力的3D集成电子装置结构制造方法及图纸
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下载包括增加的热耗散能力的3D集成电子装置结构的技术资料
文档序号:8558449
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本发明的名称是:“包括增加的热耗散能力的3D集成电子装置结构”。微电子装置结构包括增加的热耗散能力。该结构包括倒装芯片接合到衬底的三维(3D)集成芯片组件。芯片组件包括装置衬底,其包括放置在其上有源装置。盖层在物理上接合到装置衬底,以至少部...
该专利属于通用电气公司所有,仅供学习研究参考,未经过通用电气公司授权不得商用。
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