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本发明提供了一种氧化铝微粉的生产工艺，使氧化铝微粉粒度分布可以自行设计，各种粒径大小颗粒比例可以随意调配，在研磨过程中明显减少硅片的表面划伤，其包括以下步骤：（1）使用沉降法提取一定的氧化铝微粉中心颗粒；（2）然后用溢流法提取某一段的氧化铝...
该专利属于无锡晨旸科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡晨旸科技股份有限公司授权不得商用。

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