下载一种能够装卸的新型石墨沉积槽的技术资料

文档序号:8546050

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本实用新型公开了一种能够装卸的新型石墨沉积槽,包括支撑装置以及设置在支撑装置内部的沉积槽,所述支撑装置包括若干个U型支撑架,U型支撑架串联为纵行结构,且U型支撑架的外部设置有两条平行的支撑棍,支撑棍与对应的U型支撑架的端头连接;沉积槽设置在...
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