下载多晶硅片脱胶工装的技术资料

文档序号:8543886

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本实用新型公开了一种多晶硅片脱胶工装,包括框架,所述框架内贴着框架前后框设有晶托架,所述晶托架的一端上部设有晶托的定位装置,与晶托架平行、在晶托架的下方依次设有两根夹杆、两根托架,所述晶托架、夹杆、托架的两端连接于框架两端框。用本实用新型进...
该专利属于宿迁宇龙光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宿迁宇龙光电科技有限公司授权不得商用。

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