下载吸附装置的技术资料

文档序号:8543707

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本实用新型公开了一种吸附装置,包括载放台,所述载放台的上表面划分有一个或多个吸附区域;每个吸附区域凹设有吸附槽,每个吸附槽的槽底设置有一个或多个真空孔;抽真空单元,所述抽真空单元与每个真空孔相连通。本实用新型提供的吸附装置,在需要固定基板的...
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