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一种硅料清洗装置组制造方法及图纸
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下载一种硅料清洗装置组的技术资料
文档序号:8542960
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本实用新型公开了一种硅料清洗装置组,本实用新型包括冲淋清洗机,所述冲淋清洗机的四周分别设有酸性清洗机、酸性浸泡机、碱性清洗机和超声清洗机;所述酸性清洗机位于酸性浸泡机的对面,所述碱性清洗机位于超声清洗机的对面。用本实用新型行星硅原料清洗时,...
该专利属于宿迁宇龙光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过宿迁宇龙光电科技有限公司授权不得商用。
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