下载一种硅料清洗装置组的技术资料

文档序号:8542960

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本实用新型公开了一种硅料清洗装置组,本实用新型包括冲淋清洗机,所述冲淋清洗机的四周分别设有酸性清洗机、酸性浸泡机、碱性清洗机和超声清洗机;所述酸性清洗机位于酸性浸泡机的对面,所述碱性清洗机位于超声清洗机的对面。用本实用新型行星硅原料清洗时,...
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