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本发明涉及一种利用双光束干涉辅助实现发光二极管表面图形制备的方法，该方法为：利用激光干涉光路照射在发光二极管外延片待腐蚀表面：通过调节激光干涉光路在所述发光二极管外延片待腐蚀表面形成光干涉图形，结合现有湿法腐蚀法对发光二极管外延片进行光辅助...
该专利属于山东大学所有，仅供学习研究参考，未经过山东大学授权不得商用。

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