下载太阳能电池片及其扩散方法的技术资料

文档序号:8535096

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本发明公开了一种太阳能电池片及其扩散方法,包括:将硅片放入扩散炉中;将扩散炉内温度升至第一温度,同时向扩散炉中通入含三氯氧磷的氮气和氧气,保持时间为第一时间;将扩散炉内温度升至第二温度,同时向扩散炉内通入氧气,保持时间为第二时间;保持扩散炉...
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