下载一种渐变折射率减反膜太阳能电池及其制备方法的技术资料

文档序号:8535085

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本发明公开了一种渐变折射率减反膜太阳能电池制备方法,包括以下步骤:在硅片正面形成绒面;在硅片正面进行P扩散,然后去除所述硅片正面的磷硅玻璃和周边P扩散层;在所述硅片正面形成渐变折射率减反膜;在所述硅片背面形成背电极和铝背场;在所述硅片正面形...
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