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本发明公开了一种制作太阳能电池的扩散方法，包括：将待处理的硅片放入扩散炉中，将扩散炉的温度升高至第一设定温度；在第一设定温度下，向扩散炉中通入携磷源气体、氧气、氮气，在硅片表面进行磷源扩散；将扩散炉的温度由第一设定温度逐渐升高至第二设定温度...
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