下载一种双极电路的制造方法的技术资料

文档序号:8534767

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本发明提供一种双极电路的制造方法,包括在提供的半导体衬底上淀积第一介质层,半导体衬底的外延层中形成有掺杂的深磷、第一类掺杂区、第二类掺杂区和上隔离;将接触孔图形及电容窗口图形合并到同一掩膜版上进行刻蚀,在形成的各层次上的第一介质层中形成接触...
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