下载一种场发射阴极的处理方法的技术资料

文档序号:8534593

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本发明提供一种场发射阴极的处理方法,包括:通过磁控溅射仪上预留的电极接口引出溅射室;样品作为磁控溅射的基片,用直流溅射方式在其表面上溅射不同厚度的超薄纳米纯镍膜。...
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