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使用液体作为辅助介质的激光微加工方法及系统技术方案
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下载使用液体作为辅助介质的激光微加工方法及系统的技术资料
文档序号:853252
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提供了一种激光加工基板的方法。该方法包括在基板(400)的第一表面上导引激光能量(420),同时至少在激光能量(420)导引的区域在基板(400)的第一表面上提供辅助介质(450,452)。在利用激光能量(420)产生基板(400)内的特征...
该专利属于惠普开发有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过惠普开发有限公司授权不得商用。
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