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衬底的激光热处理中即时失效的快速检测制造技术
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文档序号:853195
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本发明公开了一种热处理系统(10),该热处理系统包括以激光器波长发射光的激光阵列(34),衬底支撑,设置在所述源和所述衬底支撑之间并且利用激光辐射源发射的光在衬底的衬底平面上形成直线光束的光学片(48、52、62、64、66、70),以及扫...
该专利属于应用材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过应用材料股份有限公司授权不得商用。
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