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本发明公开了一种电容式加速度计，包括基板及第一半导体结构层。第一半导体结构层设置在基板上，包括第一质量块、第一及第二支撑基座、第一及第二弹性件，及第一及第二梳状电容组。第一及第二支撑基座分别对应第一及第二轴向。第一弹性件以垂直于第一轴向来回...
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