温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种检查SAT(次常压化学汽相淀积设备)汽化阀堵塞的方法，包括：通过一次成膜制作硼磷硅玻璃光片，作为测试片一；采用相同工艺和参数通过多次成膜制作与测试片一厚度相同的硼磷硅玻璃光片，作为测试片二；对测试片一和测试片二进行硼磷浓度测...
该专利属于上海华虹NEC电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海华虹NEC电子有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。