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用于激光软标印的方法和系统技术方案
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下载用于激光软标印的方法和系统的技术资料
文档序号:853008
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一种在半导体晶片上标印软标印的激光标印系统,包括设定脉冲宽度(例如,10-200纳秒)的控制器,所述脉冲宽度影响将形成的软标印的深度。所述控制器进一步设定所述一个或多个输出脉冲的脉冲能量(例如,600至1100微焦),以选择性地提供具有用于...
该专利属于通明国际科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过通明国际科技有限公司授权不得商用。
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