下载导线键合毛细管设备及方法的技术资料

文档序号:852606

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一种用于在半导体装置制造中将导线(例如,扁平矩形横截面带状导线(104))键合到工件(106)的设备(100)及方法。所述导线被馈送穿过超声波键合毛细管(102)的通道(116)并经由可操作地耦合到所述键合毛细管的夹爪(118)被夹持抵靠在...
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