下载杯芳烃化合物和包含该杯芳烃化合物的抗蚀剂组合物的技术资料

文档序号:8524963

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一种分子玻璃化合物,其包括式(I)的芳族化合物与(II)的多环或稠合多环芳香醛的四聚反应产物,C6R1x(OR2)y????(I)其中,R1为,H、F、C1-20烷基、C1-20卤烷基、C6-20芳基、C6-20卤芳基、C7-20芳烷基、或...
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