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基于声表面波的微阵列无模成型装置及成型方法制造方法及图纸
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下载基于声表面波的微阵列无模成型装置及成型方法的技术资料
文档序号:8522466
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本发明公开了一种基于声表面波的微阵列无模成型装置及成型方法。在正方形的压电基体板上光刻有两对叉指换能器,每对以正方形的压电基体板中心轴为轴线对称布置,在压电基体板中间放置正方形的玻璃液槽并与压电基体板胶结,被成型的液态材料置于玻璃液槽中。超...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。
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