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本发明提供了研磨硅片用夹具，包括定位夹、夹紧装置，定位夹内设有夹紧板，其特征在于，所述夹紧装置包括连接板，所述连接板固定设有所述定位夹内壁上，所述连接板与所述夹紧板相平行，所述连接板与所述夹紧板之间设有至少一个弹簧，所述弹簧两端分别与所述连...
该专利属于镇江市港南电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过镇江市港南电子有限公司授权不得商用。

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