下载一种光掩膜板抛边装置的技术资料

文档序号:8522039

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本发明涉及一种光掩膜板抛边装置,包括电机、机座、机架、磨轮、靠模机构和支撑结构,所述的机架固定在机座上,所述的靠模机构位于机架的一侧,所述的电机和磨轮固定在机架另一侧的支撑结构上,所述的磨轮设在电机的正下方;所述的靠模机构包括靠模、靠模滑板...
该专利属于上海双明光学科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海双明光学科技有限公司授权不得商用。

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