下载一种高压水流辅助的激光切割方法及装置的技术资料

文档序号:8521717

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为了保证激光切割质量,更好的辅助将汽化的金属吹走而避免挂渣的形成,本发明提供了一种激光切割方法:将激光束聚焦到工件上,由于受到高功率密度的激光光斑照射,被激光光斑照射的工件瞬间汽化,配合辅助切割高压水流将汽化的金属吹走,从而实现工件的切割,...
该专利属于中国科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院半导体研究所授权不得商用。

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