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本发明公开了一种空气调节监测系统，应用于半导体清洗设备，该系统包括：主框架、风机机组、风机固定支架、均风装置、可调层流装置、气体压力传感器、静电阻抗器、静电监视器以及空气洁净度测试装置。本发明主要用于消除半导体清洗机内部环境中的各项污染源，...
该专利属于北京七星华创电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京七星华创电子股份有限公司授权不得商用。

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