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本发明公开了一种基于紫外光的干式清洗方法，特别涉及一种用于清洗TFT-LCD玻璃基板表面上有机污染物的紫外光清洗方法。将该干式清洗方法与湿式清洗方法这两种技术有效结合起来,TFT-LCD玻璃基板表面经过超声波清洗、高压水喷淋两种不同类型的湿...
该专利属于江苏宇迪光学股份有限公司;江苏大学所有，仅供学习研究参考，未经过江苏宇迪光学股份有限公司;江苏大学授权不得商用。

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