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本实用新型实施例提供了一种行星盘，包括围绕行星盘的轴心排列的多个蒸发盘、设置于每个蒸发盘外侧的多个弹簧压爪以及放置于硅片上的多个盖板，行星盘还包括中心盘，设置于行星盘的蒸发面上且位于蒸发面的轴心处，并在中心盘的外侧设置有用于压住硅片的至少三...该专利属于北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司授权不得商用。