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本实用新型涉及一种层间偏移测量装置，其至少包含有：设于待测物上之对位靶标（10）、至少一测试探针（20）、一接地探针（30）、一输入电压（50）、一电压侦测模块（60）以及一显示模块（70），该对位靶标（10）设有与该待测物相对应之复数层体...该专利属于瀚宇博德科技（江阴）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过瀚宇博德科技（江阴）有限公司授权不得商用。
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