下载基于控制腐蚀的气囊式研抛装置的技术资料

文档序号:8500927

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本实用新型提供一种基于控制腐蚀的气囊式研抛装置,主要解决了现有光学元件,尤其是非球面光学元件加工时成本较高,加工效率较低的问题。该基于控制腐蚀的气囊式研抛装置包括连接有气泵的气囊式抛光头,气囊式抛光头包括设置在抛光头主体上的气囊,还包括承载...
该专利属于中国科学院西安光学精密机械研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院西安光学精密机械研究所授权不得商用。

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