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本实用新型提出一种除油装置以及研磨液搅拌装置，所述除油装置用于去除研磨液搅拌装置的油渍，通过添加第一遮挡盘遮挡住搅拌马达泄露出的油渍，通过添加第二遮挡盘遮挡住研磨液缸的开口，并连接一油管排走第二遮挡盘的油渍，从而避免油渍落入研磨液缸中污染研...
该专利属于中芯国际集成电路制造（北京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（北京）有限公司授权不得商用。

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