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本发明涉及嵌片式复合工具及电化学机械复合加工装置及其加工方法。本发明的复合工具包括有嵌片及基体，嵌片固定在基体上。本发明的复合工具制作简便，更换嵌片容易，可以通过调整嵌片和基体的几何参数来调整加工过程中的极间间隙，电解区域和磨削区域的比例，...
该专利属于广东工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过广东工业大学授权不得商用。

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