下载半导体器件、衬底和用于制造半导体层序列的方法的技术资料

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提出一种半导体器件(1),所述半导体器件具有半导体本体(2)和衬底(3),其中所述半导体本体以氮化物的化合物半导体材料为基础并且半导体本体设置在所述衬底上。在衬底中有针对性地构成杂质。此外,提出一种衬底和一种用于制造半导体器件(1)的半导体...
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