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本发明涉及一种集成的半导体处理设备，包括：集成的半导体处理主体，所述集成的半导体处理主体具有第一空间和第二空间，所述第一空间用于存储容纳有多个晶片的多个FOUP，并且在所述第二空间中安装有用于对存储在所述第一空间中的晶片进行处理的处理装置；...
该专利属于纳米半导体（株）所有，仅供学习研究参考，未经过纳米半导体（株）授权不得商用。

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