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用于借助微波生成等离子体用来对衬底进行CVD涂层的装置（1）具有反应气体可被输送到的真空箱（2）和布置在其中的电导体（3），所述电导体在其两个端部处分别与用于耦合输入微波的装置（6）以及与电压源（7）相连接，用该电压源（7）可在电导体（3）...
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