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本发明涉及一种高能次生电子检测器，该检测器包括收集器P，该收集器专门支承互相绝缘并相对于该收集器被极化的以下三个电极：用于排斥预定符号的要被排斥的电荷的第一排斥电极A1，被负极化的该电极具有至少一个允许电子通过的开口；用于排斥相反符号的要被...
该专利属于离子射线服务公司所有，仅供学习研究参考，未经过离子射线服务公司授权不得商用。

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