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一种MEMS装置包括悬置于衬底上面的验证质量块、一个或一个以上驱动梳及一个或一个以上感测梳。在操作期间，将与AC调制电位串联的DC致动电位施加到所述验证质量块，并将AC致动电位施加到所述一个或一个以上驱动梳，使得所述验证质量块以振荡方式移动...
该专利属于深迪半导体(上海)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深迪半导体(上海)有限公司授权不得商用。

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