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集成光波导渐逝场传感器制造技术
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下载集成光波导渐逝场传感器的技术资料
文档序号:8493867
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用于感测化学和/或物理量的集成光波导渐逝场传感器,其包括支撑波导层结构的基板,所述波导层结构设有:波导核心层(3),其夹在由具有比波导核心层(10)更低的折射率的下(4)和上覆层(5)形成的两个覆层(4、5)之间;感测部分,其包含被包括在上...
该专利属于光学感觉有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过光学感觉有限公司授权不得商用。
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