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本发明提供一种能同时检测多个物理量的物理量传感器及其制造方法。整体上具有可挠性或者柔性的物理量传感器（100）具备：基板（1）；电极层（2），其形成在基板（1）上；压电元件（3a）和压电元件（3b），并列设置在电极层（2）上；电极层（4a、...
该专利属于独立行政法人科学技术振兴机构所有，仅供学习研究参考，未经过独立行政法人科学技术振兴机构授权不得商用。

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