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用于测量薄膜厚度的方法和设备，包括：使用激光投射系统和检测器阵列得到薄膜的高速厚度测量，使用单点测量设备在一个或多个位置得到薄膜的厚度测量，并将它们与通过单点测量设备测得的该膜的一个或多个绝对厚度值进行比较，确定高速测量值的准确性。...
该专利属于康宁股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过康宁股份有限公司授权不得商用。

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