下载粉粒产生少的强磁性材料溅射靶的技术资料

文档序号:8493650

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本发明涉及一种强磁性材料溅射靶,其为在Cr为20摩尔%以下、其余为Co的组成的金属中分散有包含氧化物的非磁性材料粒子的非磁性材料分散型强磁性溅射靶,其特征在于,该靶组织具有在金属基质中分散有包含氧化物的非磁性材料粒子的相(A)、以及所述(A...
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