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本发明涉及一种在低压电弧蒸发的情况下用于在真空室（10）中通过电弧涂布基材的方法和蒸发器（12，14，62，64，66，68），其中，所述真空室（10）具有至少一个含有标靶材料（20）的蒸发器（12，14，62，64，66，68）、用于供应...该专利属于三斯特根股份有限公司;洪埃德科股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过三斯特根股份有限公司;洪埃德科股份有限公司授权不得商用。